昇温脱離ガス質量分析装置（TDS-MS）

1. 装置

メーカー	電子科学
型式	TDS 1200II

2. 特徴

1×10^-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱離したガス成分は、電子イオン化法でイオン化されます。生成したイオンは四重極型の質量分析器にて検出されます。このm/z値から、水や水素などを定性し、定量することができます。

3. 仕様及び性能

測定質量範囲	m/z 1〜200（Bar測定の場合：m/z 1〜199）
質量分解能	M/ΔM ≧ M
試料加熱温度	〜1,200℃（標準）<〜1,300℃（最大）>
大気フリー測定	トランスファーベッセルを使用して対応可能

4. 測定試料

対象試料	主に無機化合物（金属、ガラス、セラミックなど）
試料量サイズ	15mm×15mm×5mm（最大）

5. 留意点

試料	有機物で汚染された試料は不可。 ハロゲン原子（特にフッ素）が多く発生する試料は不可。 磁性体は不可。
取り扱い	超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する。

6. 応用分野及び適用例

応用分野	適用例
水分管理	積層間絶縁膜、シリコンウエハなど
無機ガス含量の確認 （H2、N2※、CO※、O2、CO2等）	金属、セラミック、シリコンウエハなど
汚染管理	シリコンウエハ表面の汚染の確認

※区別できないため（いずれもm/z 28）、それぞれを最大の場合の値として算出。