contents
半導体材料
ウエハ
- AFMによる精密研磨面の表面形状比較
- 原子間力顕微鏡（AFM）によるエッチング段差測定
- ベアリング解析による表面形状評価
- パワースペクトル密度による表面形状評価
- ESCAによる表面官能基濃度の定量（1）
- ESCAによる表面官能基濃度の定量（2）
- ESCAによる表面官能基濃度の定量（3）
- TOF-SIMSによる有機材料の表面汚染評価
- 面内回折法による表面構造解析（1）
- 面内回折法による表面構造解析（2）
- 反射法による完全極点図形測定
- Cs補正STEMによる各種材料観察
- オージェによるウエハ上のシミ部の分析
- TOF-SIMSによるウエハ表面の分析
- 微量有機物の分析
- 加熱発生ガス分析
- ICP-MSによるシリコンウエハ表面の金属不純物の定量
- オージェによるウォーターマークの分析
- FIB-SEM法を用いたSiウエハ上異物の分析
- FIB-TEM法を用いたSiウエハ上の微小異物の分析
半導体デバイス
- SPMによるSiウエハの表面粗さ測定
- EDS制限視野マッピング測定
- 面内回折法による表面構造解析（1）
- 面内回折法による表面構造解析（2）
- 多孔質low-k膜ポアサイズ分布解析
- EELSスペクトルラインプロファイルによる酸化膜解析
- オージェ及びレーザラマンによるセラミックスの構造評価
- 多層薄膜の深さ制御In-Plane回折測定
- SIM像によるチャネリングコントラスト
- SIM像を用いたLSIの不良箇所の特定
- GaN中の転位解析
- 積層セラミックコンデンサの3D解析
- FIBマイクロサンプリング法を用いた集積回路配線部のSEM-EDS-EBSD分析
- FIB-TEM法を用いたパターン配線上の微小異常部の分析
LED、LD素子
ナノ材料
- TEMによる単層カーボンナノチューブの直径分布測定
- 単層カーボンナノチューブ（SWCNT）の高コントラスト測定
- 多層カーボンナノチューブの長さと直径のSEM測定
- ラマン分光法による単層カーボンナノチューブの直径分布評価
- 単層カーボンナノチューブのラマンスペクトルに及ぼす励起レーザ光強度の影響
- 多層カーボンナノチューブの直径と積層間隔について
- AFMを用いた単層カーボンナノチューブの長さ解析
- 界面活性剤による単層カーボンナノチューブの孤立分散
- 単層カーボンナノチューブの長さ分布に及ぼす界面活性剤濃度の効果
- 多層カーボンナノチューブの長さと直径のSEM測定
- ラマン分光法による単層カーボンナノチューブの欠陥評価
- カーボンナノチューブに含まれる「金属元素」の分析
- カーボンナノチューブに含まれる「多環芳香族炭化水素」の分析
- 単層カーボンナノチューブの分析（XPS、ラマン分光法）
- 単層カーボンナノチューブの分散状態観察
- SEM-XRDによる多層カーボンナノチューブの直径評価
ディスプレイ
LCD
- XPS価電子帯スペクトルによる材料評価
- クラスター型一次イオンを用いた有機顔料の分析
- 傾斜切削法を用いた有機感光体（OPC）のTOF-SIMS分析（1）
- 傾斜切削法を用いた有機感光体（OPC）のTOF-SIMS分析（2）
- 高分子表面の分子鎖配向性評価（1）
- 高分子表面の分子鎖配向性評価（2）
- 高分子表面の分子鎖配向性評価（3）
- 結晶性粒界構造の解析
- アモルファス粒界構造の解析
- 顕微IRマッピング法による材料表面の分析
- オージェによる異物断面の分析
有機EL
- TOF-SIMSによるEL材料の分析
- ASAP（質量分析用大気圧固体試料プローブ）による有機EL材料の分析
- 熱分解GC/MSによる有機EL化合物錯体系の構造解析
- TOF-SIMSによるカラーフィルタ表面の分析
- FIB-STEM法を用いた有機ELディスプレイの分析
- IRイメージング法による微小異物の分析
- IRイメージング法による微小異物の分析（3）
記録媒体
HDD
- フッ素系潤滑膜のTOF-SIMS分析
- STEM-EDSによるマッピング測定
- 画像解析による粒界層の解析
- 粒子径解析ソフトの応用
- 垂直磁気記録媒体の断面および平面構造解析
- HDD（ハードディスクドライブ）媒体の粒界解析
DVD、CD
リチウムイオン二次電池
- Liイオン電池正極活物質中の金属元素分析
- Li二次電池正極材料の断面観察
- XPSによるLiイオン電池正極表面の分析
- EELSスペクトルによるMn酸化状態の解析
- Liイオン電池（正極材）の蛍光Ｘ線による組成分析
- Liイオン電池（正極材）のＸ線回折による構造解析
- オージェによるLiイオン電池正極表面の評価
- Liイオン電池正極の表面EDS分析－その1、その2
- Co酸化物中LiのEELSマッピング検討
- TOF-SIMSによるLiイオン電池正極表面の分析
- TDS-MSによるLiB正極活物質温度特性の分析
- LiB正極のTDS-MSによる温度特性の分析（1）
- Ar-GCIBを用いたLiイオン電池負極表面のXPS深さ方向分析
- Liイオン電池負極活物質中の金属元素分析析
- カーボン材料の劣化状態の観察
- 雰囲気遮断ホルダーを用いたSEM観察
- Liイオン電池バインダーの分析
- FT-IRによるセパレーターの分析
- Li電池用セパレーターの多孔質構造の観察
- Liイオン電池の電解液溶媒の組成分析
- 19F-NMRによるリチウムイオン電池の電解液中のF－の定量分析
- 多核NMRによるLiB電解質（LiPF6ならびに分解物）の分析
- 11B-NMR測定（19Fデカップリング）
- NMR法による拡散係数の評価
- LC/MS多変量解析による製品特性の解析（3）
- LC/MSによるイオン液体の分析
- 嫌気性材料の大気非暴露分析項目のご紹介