オージェによるウォーターマークの分析

ウエハ表面汚染の一つにウォ－ターマーク（液滴の蒸発した跡）の生成があります。ここでは、シリコンウエハ上に発生したウォ－ターマークの分析例を図1に示します。

ウォ－ターマーク部のSEM像には水滴の蒸発で円形に発生した異物が見られます。この異物のオージェ分析より、異物はPを含む物質と考えられます。

図1：ウエハ上の異物（ウォーターマーク）のオージェ電子分光分析