C1701
ナノインデンター
1. メーカー・型式
HYSITRON製 TI Premier Multi Scale
2. 概要
ナノインデンテーションとは、鋭く尖った圧子で試料を押し込んだ時の荷重（力）と変位（押込み距離）を同時測定し、荷重変位曲線を得て、複合弾性率・硬さを計測する手法です。
3. 装置外観
写真：装置の概観
図：測定の流れ
4. 装置仕様
| 項目 | 性能 | ||
|---|---|---|---|
| 圧子 | 低荷重バーコビッチ | 〜10mN | |
| 高荷重バーコビッチ | 〜1,000mN | ||
| 高荷重コニカル | 先端半径5µm、開き角60° | ||
| プッシュアウト | 高荷重 | ||
| 測定 | モード | 荷重制御、変位制御 | |
| 複合弾性率・硬さ | 低荷重モード：〜5µm 高荷重モード：〜80µm |
||
| 動的粘弾性 | 低荷重モード、0.1〜300Hz | ||
| ISO14577-1 | 低荷重モード | ||
| 観察 | 光学顕微鏡（OM） | 48〜3,000倍 | |
| AFM（低荷重モードのみ） | コンタクトモード、最大走査60µm | ||
| ステージ | 自動稼動領域 | 50×100×50（z）mm | |
| 試料サイズ | 同上 | ||
| ステップ分解能 | 50nm（x、y） | ||
